用消光式椭圆偏振光谱测量薄膜光学参数的方法

摘要

本文主要介绍如何应用 TP—77型椭偏仪与 WDF 反射式单色仪组合,实现不同波长下的消光椭偏测量。此方法可测量薄膜厚度、折射率、吸收系数等光学参数。