用激光向量测量技术测量和补偿体积定位误差

摘要

@@ 一、导论rn本文阐述用激光向量测量方法来测量CNC机床或其他精密仪器的体积定位误差问题.传统的激光干涉仪只能测量位移误差,而激光向量测量法则能测量出"向量误差”,即各轴的位移误差和其两个横向直线度误差.此法的关键是测量方向不平行于位移的方向.对四条对角线进行向量测量之后,三个轴各自的位移误差、各自的两横向的直线度误差以及三轴之间的相互垂直度误差等十二个参数都可测得.