基于电容测微仪的深度自动测量系统

摘要

精密摄像系统中,摄像头镜面的安装精度要求非常高,需经过严格检测后方能使用.本文结合镜面实际安装工况,以5套精密电容测微仪为核心设计了非接触式自动测深系统.工件放置后,系统自动将其传送至测量范围内,测头自动调整至最佳测量姿态、距离,综合5套传感器数据计算出镜面安装深度.经鉴定整机精度达到2μm.