基于双频激光干涉原理的大尺寸直径测量的研究

摘要

提出了一种基于双频激光干涉原理的大尺寸直径测量的新方法,采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位固定在被测工件直径两端点上的光电接收器,同时使用双频激光干涉仪测量两个光电接收器中心间的距离,通过几何计算得到被测直径尺寸.实验表明,该方法有较高的测量准确度,测量系统的相对误差小于5×10-6.