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高精度大长径比圆柱轴孔内外径测量系统研制

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@@%介绍一种非接触式测量大长径比精密圆柱轴孔内外径的方法,该方法基于移相干涉测量技术,研制的高精度内径及外径测量系统以一等量块作为标准,采用白光干涉定位、激光干涉测长与移相干涉技术相结合,实现精密圆柱件长轴外径及深孔内径的高精度非接触自动测量.

著录项

来源
《计量技术》 |2012年第10期|10-14,18|共6页
作者
王蔚晨; 朱小平; 杨自本;
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作者单位

中国计量科学研究院长度所精密测量实验室,北京100013;

中国计量科学研究院长度所精密测量实验室,北京100013;

中国计量科学研究院长度所精密测量实验室,北京100013;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
计量学; 直径测量; 移相干涉; 白光干涉测量;

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