双频激光干涉仪高精度测量大型工件内外径系统的研制

摘要

本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果。测量１０００ｍｍ直径时测量系统的误差＜１０μｍ。