DC—PCVD法沉积的非晶态氮化硅的结构与性能研究

摘要

对用直流等离子体化学气相沉积法得到的非晶态氮化硅薄膜结构与性能进行了研究。对氮薄膜的表面显微硬度和剖面显微硬度进行了测试，并对非晶态氮化硅硬度高于晶态氮化硅硬度的原因进行了探讨。