入射能量对Ti／AI（001）沉积薄膜微观结构的影响

摘要

利用分子动力学模拟了Ti原子在AI（001）表面的薄膜生长过程，通过对沉积薄膜表面粗糙度、径向分布函数、键对含量比的计算和界面结合的分析，研究入射能量对薄膜质量的影响。结果表明：当入射能量为0．1eV时，Ti薄膜粗糙，随着入射能量的增加，薄膜表面粗糙度降低，薄膜越趋于层状生长；Ti原子仅入射到基体最表面2层，仅为表面结合，无金属化合物；入射能量对Ti薄膜微观结构的影响很小，且Ti薄膜以fcc结构为主。