多弧离子沉积（Ti，AI）N薄膜的制备工艺

摘要

介绍了采用多弧离子镀的方法在新型热作模具钢（ＣＨ７５）表面沉积（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜的制备工艺，讨论了工艺参数对（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜性能的影响。对Ｔｉ／Ａｌ机械复合靶进行了结构设计，得出靶的名义Ａｌ含量与沉积的（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜的Ａｌ含量相符合。