改进的倾斜入射角沉积装置、使用它制造非反射性光学薄膜的方法以及非反射性光学薄膜

摘要

本发明公开一种制造非反射性光学薄膜的方法。根据本发明，该方法包括：第一步，将玻璃基底安装在与腔室内形成的支撑杆连接的支撑板上；第二步，垂直移动支撑杆，使得玻璃基底可以与地面平行；第三步，使用沉积材料在玻璃基底上沉积第一折射层；第四步，移动支撑杆，使得沉积有第一折射层的玻璃基底可以具有一定的入射角度；第五步，利用用于增大孔隙度的过滤层，在玻璃基底上沉积折射率比第一折射层小的第二折射层，过滤层位于玻璃基底的下方区域并且增大朝向玻璃基底移动的沉积材料的孔隙度；第六步，从玻璃基底的下方区域移除用于增大孔隙度的过滤层，并且垂直移动支撑杆，使得沉积有第一折射层和第二折射层的玻璃基底可以与地面平行；和第七步，重复第三步至第五步一次，其中第一折射层和第二折射层可以由相同的沉积材料沉积形成。