先驱体转化法制备AlN粉体的研究现状

摘要

有机先驱体裂解工艺制备的AlN粉体因具有低氧含量和高烧结活性而被广泛关注。AlN先驱体的组成与结构对陶瓷产率及陶瓷粉体的性能有着重要影响,因此先驱体的合成对AlN陶瓷起至关重要的作用。选择不同的合成原料直接决定了先驱体的分子组成与结构。重点介绍了以三烷基铝化合物、无机铝化合物及氢化铝锂3种铝源制备AlN先驱体的工艺方法与反应机制。