压电陶瓷微位移驱动技术的研究

摘要

精密异形非圆回转曲面的加工是精密加工中很重要的内容,微位移驱动技术是其中的关键技术.压电陶瓷驱动控制精度高、可操作性强,但它的输出位移小,而且对于一定的驱动电源,输出幅度与输出频率负相关,制约了它在高频响、较大幅度位移输出场合中的应用.文章首先对压电陶瓷的静、动态驱动特性进行了分析,并就特定PZT(Piezoelectric Translator)进行了实验,在此基础上提出了该类微位移驱动有效的加工范围和改善其输出特性的措施,提出了一种在较高频率下输出较大位移的方法.