压电陶瓷驱动微位移平台的磁滞补偿控制理论和方法研究

摘要

随着纳米科学和纳米技术的飞速发展，压电陶瓷驱动的微位移平台逐渐成为精密制造装备中实现微观操作和加工的核心部件。但是压电陶瓷驱动器存在复杂的非线性磁滞效应，会造成系统精度超差，易产生振荡，甚至闭环系统的不稳定。此外，压电陶瓷驱动微位移平台是含输入磁滞非线性的动力学系统，现有数学模型无法精确描述这种复杂动力学特性，造成基于精确数学模型的控制与优化策略难以直接应用。这给磁滞补偿控制器的设计带来了极大的挑战。