一种由压电陶瓷驱动的微位移平台

摘要

本发明涉及一种具有两级放大机构的微位移输出平台，主要由驱动部分、放大部分、运动执行部分以及测量部分组成。其中驱动部分主要由压电陶瓷实现功能，而通过碟簧实现压电陶瓷的预紧；放大部分由传统铰链和柔性铰链组合而成；测量部分由基于超声波的测量装置构成。本发明的微位移机构输出位移精度高、动态响应快，碟簧自身特性使得压电陶瓷输出位移过程中保持预紧力恒定，而铰链的对称性分布可有效消除寄生位移。本发明的微位移机构克服了只能利用压电陶瓷实现小位移输出的缺点，根据实际需要调整机构就可实现压电陶瓷输出位移的无级放大，实现了从纳米级到毫米级的多尺度输出精度。本发明可应用于校正超声波探头测量固定膜厚时的精度。