压电陶瓷微位移驱动控制技术研究
RESEARCH ON THE MICRO DISPLACEMENTDRIVING CONTROL TECHNOLOGY FORPIEZOELECTRIC CERAMICS
摘 要
Abstract
第1章 绪 论
1.1 课题背景及研究目的及意义
1.2 国内外研究现状
1.3 压电陶瓷的驱动控制方法
1.4 课题主要研究内容
第2章 压电陶瓷位移驱动系统设计总体方案
2.1 引言
2.2 压电陶瓷微定位驱动控制系统构成
2.3 压电陶瓷模拟放大模块设计
2.4 压电陶瓷控制模块设计
2.5 本章小结
第3章 压电陶瓷驱动电源
3.1 引言
3.2 精密直流稳压电源电路设计
3.3 误差放大式压电陶瓷稳压电源研制
3.4 放大电路容性负载稳定性设计
3.5 本章小结
第4章 微定位系统控制单元设计
4.1 引言
4.2 控制卡硬件电路设计
4.3 控制卡软件设计
4.4 基于 PCI 总线的DSP 与计算机通信接口
4.5 本章小结
第5章 系统性能实验及数据分析
5.1 引言
5.2 模拟放大模块性能实验
5.3 控制卡性能实验
5.4 本章小结
结 论
参考文献
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致 谢