一种压电陶瓷微位移的测量方法、系统、装置及计算机可读存储介质

摘要

本发明涉及一种压电陶瓷微位移的测量方法、系统、装置及计算机可读存储介质，属于微位移测量领域，测量方法包括第一光谱图生成步骤，控制激光器发射预设波长为λ的激光，得到激光通过准直透镜后形成的第一光信号，进而得到第一光谱图；第二光谱图生成步骤，控制激光器发射预设波长为λ的激光，控制压电陶瓷发生位移，得到通过准直透镜后形成的第二光信号，进而得到第二光谱图；激光频率变化量获取步骤，对第一光谱图和第二光谱图进行对比，得到激光频率变化量；位移变化量获取步骤，将激光频率变化量代入方程组，通过求解计算得到压电陶瓷的位移变化量。本发明具有便于对压电陶瓷的位移变化量进行测量的效果。