一种微米级多层叠装磁心平面型螺旋电感器

摘要

文章介绍一种采用微米（μm）级NiFe合金的多层叠装磁心研究开发的用于高密度封装的超低高度（0．4mm）的平面螺旋电感器。其制造工艺是采用简单的腐蚀掉电镀铜层的方法，以此获得7层厚度为1．8μm的叠层磁心，并以这种磁心与螺旋线圈一起组成螺旋型电感器。制成器件的整体尺寸为40×15（mm）。成品测试的性能表明，它们适用于高密度封装的电源变换器。它们用于2．2MHz工作频率的升压变换器（5-10V），可以得到2W的输出功率，其总效率超过70％。