超深亚微米级硅基螺旋电感器等效电路模型研究

摘要

本文根据超深亚微米级硅基螺旋电感器的物理特性，利用全电磁波仿真程序模拟出硅基螺旋电感器的射频特性参量，在此基础上提出了一种高精度的硅基螺旋电感器等效电路模型，将射频特性拟合到等效电路中抽取出其元件参数值。在硅基螺旋电感器的自谐振频率以下，其全电磁波仿真的射频特性与等效电路模型的仿真值之误差均小于3﹪，二者具有很好的吻合度。