赴美、日气体过滤技术的考察

摘要

电子元件和电路制备技术的发展十分迅速，64k～256k位的超大规模集成电路已进入工业生产阶段，美国、日本1M位的在工业生产中已使用，并已在向4M位进行技术开发。