中国化工代表团赴美日考察报告：电子特种气体部分

摘要

概述了电子特种气体考察情况。着重介绍所考察的美国Ｐｒａｘａｉｒ公司和日本酸素株式会社在电子特种气体的研制、开发、生产、供应方面的技术细节，提出了发展我国电子特种气体产业的一些建议。