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二维气相色谱法快速分析高纯锗烷中杂质

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采用二维气相色谱技术与脉冲氦离子化检测器相结合,测定高纯锗烷中杂质,并探讨了不同阀事件时间程序对分析结果的影响.该方法实现了通过一次进样完成锗烷中微量氢、氧(氩)、氮、一氧化碳、二氧化碳和甲烷杂质分析,结果表明该方法的重复性和准确性好.

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来源
《低温与特气》 |2011年第5期|27-31|共5页
作者
林宇巍; 陈熔; 陈华; 应松;
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作者单位

国家化学工业气体产品质量监督检验中心,福建福州350025;

国家化学工业气体产品质量监督检验中心,福建福州350025;

国家化学工业气体产品质量监督检验中心,福建福州350025;

国家化学工业气体产品质量监督检验中心,福建福州350025;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种气体;
关键词
气相色谱; 锗烷; 切割反吹; 脉冲氦离子化检测器;

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