混合Ta_(2)O_(5)/SiO_(2)DBR和AlN/GaN DBR的蓝光VCSEL器件性能研究

摘要

垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件的分布式布拉格反射镜(DBR)设计十分重要,关乎VCSEL的激光输出。研究Ta_(2)O_(5)/SiO_(2)、AlN/GaN制备的DBR上下混合使用对VCSEL器件性能的影响。研究发现,底层10个周期的Ta_(2)O_(5)/SiO_(2)全反射DBR和顶层40个周期的AlN/GaN部分反射DBR设计的蓝光VCSEL器件激光输出较强,DBR底层、顶层互换的底层50个周期的AlN/GaN全反射DBR和顶层4个周期的Ta_(2)O_(5)/SiO_(2)部分反射DBR设计的蓝光VCSEL器件激光输出较强。