金属氧化物异质结气体传感器气敏增强机理

摘要

金属氧化物半导体气体传感器由于其高灵敏度、低成本、响应/恢复时间快等优点,受到研究人员的普遍关注。由于灵敏度高、 性能稳定、制备工艺简单、成本低廉及与现代电子设备兼容等优点,目前使用最为广泛的还是电阻型金属氧化物半导体气体传感器,其应 用范围涉及健康与安全,如医疗诊断、空气质量监测、食品加工、有毒易燃易爆气体检测,以及燃烧过程中能量效率及排放的控制等。