高功率CO2激光作用下硅镜热畸变的动态过程研究

摘要

以光学干涉方法，实验研究了在ＣＯ２激光束入射硅镜上，硅镜热畸变的动态过程，在变形之初，硅镜镜面的位移量变化迅速。对于一面φ７０ｍｍ，厚８ｍｍ的硅镜，吸收激光功率１４０Ｗ，作用时间４ｓ时最大挠度形０．７６μｍ，这对于高功率短波长激光器而言是不可忽略的。