Образование поверхностных структурна монокристаллическом кремниипри воздействии мощного ионного пучкананосекундной длительности

摘要

Исследовано образование структур на поверхности монокристаллического кремния при воздействии мощного протон-углеродного пучка наносекундной длительности. Описаны морфологические особенности возникающих структур. Рассмотрены возможные механизмы их формирования.