飞秒激光微孔加工发展综述

摘要

随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛.由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势.本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索.总结了目前发展遇到的问题,未来的发展趋势并提出自己的观点.