一种飞秒激光旋转式双光点光束微孔加工方法

摘要

本发明涉及一种飞秒激光旋转式双光点光束微孔加工方法，属于激光应用技术领域。本发明利用空间光调制器加载0‑π相位，对入射的呈高斯型强度分布的飞秒激光进行相位整形，由于入射的高斯光场的左右两部分被施加了不同的相位，在两部分重合的中间区域，会由于相位畸变形成光场强度暗区，从而将原本的高斯光束整形成双光点光束；在微孔加工过程中，双光点光束中心的光场暗区会有利于产生的等离子体从该位置处喷发，从而减少对后续激光脉冲的影响，改善能量沉积效率，提高微孔加工深度。