白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的研究

摘要

文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法.无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度.测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌.该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用.薄膜厚度测量范围为0.2～小于20μm,无横向测试范围的限制.在对SiO2薄膜的测试中,和椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小于2nm.文中介绍的测试系统结构简单,测试精度高,测试结果可靠,具有较强的实用性.文章最后给出了对介质薄膜钛酸铅(PbTiO3)表面的测试研究结果.