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金属表面粗糙度的白光干涉法测量实验研究

     

摘要

金属表面的轮廓误差非接触测量一直以来是一个研究热点,白光干涉法作为一种常用的非接触测量手段,具有非接触、精度高、效率高等优势,本研究采用白光干涉法对粗糙度样块进行测量,探究该方法测量表面粗糙度的可行性及测量的优缺点.

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