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钢球表面粗糙度的白光干涉非接触测量法

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摘要

介绍了一种利用垂直位移台来实现钢球表面粗糙度高精度测量的垂直扫描白光干涉仪.该仪器是在6JA型干涉显微镜基础上加以改造,采用白光干涉,通过检测干涉信号的光强峰值,实现高精度的钢球表面三维形貌测量.通过试验验证该系统可对精度等级为3级的钢球进行精确的表面形貌测量.

著录项

来源
《轴承》 |2006年第3期|28-30|共3页
作者
常素萍; 谢铁邦;
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作者单位

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074;

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类滚动轴承;表面光洁度（表面粗糙度）的测量及其量仪;
关键词
滚动轴承; 钢球; 表面粗糙度; 干涉显微镜; 垂直扫描; 白光干涉;

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