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半导体紫外探测器技术进展

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摘要

介绍了几种新型半导体紫外探测器.列出了这类探测器的各项用途及优点,并对其结构,制作方法以及性能作出了简要说明.N化物半导体紫外探测器具有探测波长范围可调,可靠性好等优点,可以认为是半导体紫外探测器发展的主要方向.

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来源
《激光与红外》|2003年第2期|83-86|共4页
作者
白谢辉; 杨定江;
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作者单位

华北光电研究所,北京,100015;

华北光电研究所,北京,100015;

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正文语种 chi
中图分类紫外技术及仪器;半导体光电器件;
关键词
紫外探测器; AlGaN探测器; 光电二极管; 金属-半导体探测器;

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