可见与近红外增透膜的设计和制备

摘要

为满足大气辐射系统中光学元件的使用要求,即可见与近红外波段高透过,根据双有效界面法设计原理配合膜系软件设计膜系,采用离子辅助沉积,电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整和监控方法的改进,制备400～1200 am宽带增透膜.所镀膜层在垂直入射时,400～1200 nm波段平均反射率小于1%.同时对膜层牢固性进行了测试,满足大气辐射系统的使用要求.