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ZrO_2薄膜的X射线光电子能谱分析

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摘要

用X射线光电子能谱 (XPS)对自制ZrO2 薄膜进行了成分分析 .结果发现 ,在基片有负偏压的条件下 ,薄膜发生了氧缺位现象 ,退火处理可以补偿氧缺位 .在膜表面存在一个Y的偏聚层 .

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来源
《郑州大学学报：工学版》 |2000年第4期|39-41|共3页
作者
娄彦良; 肖文凯; 李元科;
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作者单位

华中科技大学材料科学与工程学院;

武汉大学机械工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
氧化锆薄膜; X射线光电子能谱; 成分;

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