注氮ZnO:Mg薄膜的热稳定性研究

薛书文; 梅芳; 肖世发; 莫东; 黄子康

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注氮ZnO:Mg薄膜的热稳定性研究

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利用溶胶凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了ZnO:Mg薄膜,将能量56 keV、剂量1×1017ions/cm2的N离子注入到薄膜中.离子注入后,将样品在500-900℃的氮气中退火,利用X射线衍射(XRD)和光吸收研究了薄膜中缺陷的恢复过程.结果显示,离子注入层在600-900℃的退火过程中分解和蒸发现象明显,这个结果对利用离子注入技术制备p型ZnO有很重要的意义.

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来源
《岭南师范学院学报》 |2008年第6期|24-28|共5页
作者
薛书文; 梅芳; 肖世发; 莫东; 黄子康;
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作者单位

湛江师范学院物理科学与技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.21;
关键词
ZnO薄膜; 离子注入; XRD; 吸收;

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