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非晶硅锗薄膜太阳能电池研究

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介绍了薄膜电池的制备技术及发展进程.采用射频等离子体加强气相沉积法(PECVD),制备了非晶锗硅薄膜,提出了制备优质非晶锗硅薄膜的条件和非晶锗硅薄膜的基本性质及其制备工艺中存在的问题和解决方案.

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来源
《新乡学院学报（自然科学版）》|2012年第6期|497-500|共4页
作者
赵红枝; 黄娟;
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作者单位

新乡学院物理与电子工程系,河南新乡453003;

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正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
非晶半导体; 非晶硅锗薄膜; 太阳能电池;

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