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目录
1 绪 论
1.1 研究背景
1.2 非晶硅锗薄膜太阳能电池现状及研究意义
1.3 本论文的内容和结构
2 非晶硅锗材料与电池基础及其特性表征方法
2.1 非晶硅锗材料
2.2 非晶薄膜太阳能电池
2.3 非晶薄膜沉积基础
2.4 材料特性表征方法
2.5 电池特性表征方法
2.6 小结
3 器件质量级非晶硅锗薄膜的制备
3.1 非晶硅锗薄膜制备工艺流程
3.2 工艺参数对非晶硅锗材料性能的影响
3.3 小结
4 非晶硅锗太阳能电池研究
4.1 非晶硅锗太阳能电池制备
4.2 电池窗口层研究
4.3 电池界面层研究
4.4 本征层厚度研究
4.5 背接触层研究
4.6 小结
5 总结与展望
致谢
参考文献
附录 作者在攻读硕士学位期间发表的论文