模拟三维MOSFET的集成系统

摘要

文章介绍了一个基于ＳＵＮ４工作站上新的ＭＯＳ器件的三维模拟集成系统ＸＤＭＯＳ－３Ｓ的基本理论。重点阐述了方程的离散化方法、数值算法、与ＳＵＰＥＲＭⅢ的接口以及其良好的图形显示界面。ＸＤＭＯＳ－３Ｓ是一个从工艺模拟到器件特性输出为一体的适合ＭＯＳ器件在整个有效域的各种特性的实用模拟软件。