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脉冲碳等离子体源发射特性研究

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摘要

研究讨论了在脉冲工作方式下,碳等离子体源的发射特性.根据离子束流分布和膜层厚度测试结果,分析了影响脉冲碳等离子体源发射特性的因素.给出了改善脉冲碳等离子体源发射特性的途径.

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来源
《西安工业大学学报》 |2003年第4期|289-293|共5页
作者
杭凌侠; 蔡长龙; 弥谦; 严一心; 李刚; 朱昌;
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作者单位

西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032;

西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032;

西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032;

西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032;

西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032;

西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
脉冲电弧; 碳等离子体源; 发射特性;

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