机译:在极端紫外线范围内的激光等离子体源的激光脉冲对激光脉冲的影响,在激光等离子体源的影响下形成细液 - 金属靶
ООО "ЭУФ Лабе";
ООО "ЭУФ Лабе";
ООО "ЭУФ Лабе";
ООО "ЭУФ Лабе";
ООО "ЭУФ Лабе";
ООО "ЭУФ Лабе";
Институт спектроскопии РАН;
Институт спектроскопии РАН;
Институт спектроскопии РАН;
ЭУФ литография; источник ЭУФ излучения; лазерная плазма; предымпульс; фемтосекундный лазер; генератор капель; лазерная мишень; жидкометаллические капли; импульсно-периодический режим;