脉冲离子镀膜中的脉冲计数

摘要

在脉冲真空电弧离子镀膜过程中,膜层厚度的控制至关重要.由其镀膜机理可知,膜层厚度与脉冲放电次数之间成线性正比关系,可以通过对脉冲放电次数进行计数的方法达到控制膜层厚度的目的.然而,脉冲计数的准确性受到很多因素的影响,分析认为主要是由外界电磁干扰和多斑点的产生引起计数的不准确.为此,采用了加入延时电路的方法提高计数的准确性.实验表明,采用这种计数电路减少计数误差是可行的,并能将误差控制在5%的范围内,能够很好的满足薄膜沉积的工艺要求.