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康阳; 刘鑫; 汪丹浩; 方师; 罗远旻; 孙海定;
中国科学技术大学微电子学院;
氮化镓纳米线; 光电化学光探测器; 二氧化钛保护层; 化学稳定性;
机译:基于氮化镓的金属-半导体-金属紫外光电探测器,通过低温原子层沉积法生长
机译:在原子层沉积和化学气相沉积室合成的原子薄的少层MOSE2上构造的高性能光电探测器
机译:原子层沉积氧化铝上氮化镓纳米线的分子束外延生长
机译:化学气相沉积氮氮化镓纳米线对氮化镓纳米线的增长和表征
机译:电子增强原子层沉积(EE-ALD),用于室温生长氮化镓,硅和氮化硼薄膜
机译:氮化镓等离子增强原子层沉积对氮化镓基高电子迁移率晶体管的氮化铝表面钝化
机译:电子应用中氮化镓和氮化铟器件质量外延层的沉积
机译:用于形成原子层沉积方法的含氮化镓薄膜的起始材料,以及制备含氮化镓薄膜的方法
机译:光电发光器件(即基于氮化镓的LED)具有p掺杂的平面化层,允许径向注入纳米线中的空穴,以及n型硅衬底,允许轴向注入纳米线中的电子
机译:使用原子层沉积形成氧化镓纳米线
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