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张善才; 何多慧;
中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029;
自由电子激光; 从头到尾模拟计算; PARMELA; linac; ELEGANT; 波荡器; GENESIS 1.3;
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机译:紫外线激光装置以及具备该紫外线激光装置的曝光装置和检查装置
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