电子声学显微镜中的斩束研究

摘要

根据扫描电子声学显微镜的要求,利用物镜光阑在第一透镜的上方形成的虚像作为斩束孔,分析了由三个透镜组成的电镜中电子束的斩束系统,给出了斩束光路设计和测试结果。