用XRF基本参数法定量计算多层薄膜的厚度

摘要

针对多层薄膜材料，用ＸＲＦ基本参数法定量分析计算多层薄膜试样的厚度，除了考虑直接接受入射束激发产生初级荧光外，还考虑试样中其它元素初级荧光幅射而引起的层间和层内二次荧光。以计算三层膜荧光强度为例，提出各种不同情况下计算初级和次级荧光强度的表面式，讨论二次荧光相对于总强度的贡献。计算方法也能很好地用在大于三层膜及块样的Ｘ荧光强度计算。