真空微电子微三极管特性的计算机模拟

摘要

用计算机模拟方法研究了真空微电子场致发射微三极的特性，建立了数理模型。用差分方法求解泊松方程，以福勒－诺德海姆论处理场发射特性。细致处理了阴极表面电场，考虑了空间电荷效应的影响，并对模拟结果进行了分析讨论。