集成电路制造工艺多媒体教学系统的设计

摘要

介绍一个集成电路制造工艺多媒体计算机辅助教学（ＭＣＡＩ）系统的设计与开发。系统包括教学系统及教学管理系统。ＩＣ制造工艺原理课件包括各种工艺的工艺目的、工艺原理、工艺参数和质量检测等内容，采用多媒体技术展示工艺设备结构、工作原理，模拟设备运行。目前已基本完成了各子系统的开发和调试，进入总体的集成和调试阶段。计划在９９年下半年启用该系统开出课程。使用该多媒体教学系统，可望进一步提高教学质量。对系统开发所涉及的多媒体制作工具软件及其使用也作了简单介绍。