电子能量损失谱元素定量分析的条件优化

摘要

研究了电子能量损失谱元素定量分析的影响因素,测定了能量损失谱仪的重要实验参数:接收角和汇聚角.在不同的实验条件下收集了一系列标准样品,如氮化硼、氧化铁、氧化铝、氧化锌、硫化锌、氧化钛、氧化硅和氧化锆的电子能量损失谱,对其元素定量分析的影响因素,包括入口光栏直径、非弹性散射截面计算模型、积分区间宽度和背底拟合函数等进行了探讨,深入分析每个因素对电子能量损失谱的定量结果影响,得到了电子能量损失谱元素定量分析的优化条件.