双源注入机中消除二次电子对束流测量影响的新方法

摘要

在离子注入技术中，获得准确注入剂量的关键是如何消除二次电子对束流测量还来的影响。通过实验证实了二次电子对正离子束的影响。采用了在靶室内加入侧向正电场的方法，从而有效的克服了离子流测量不准的问题。