掺杂量对ZnO:Al膜电学性能的影响

摘要

使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜．通过霍尔系数测量及ＸＲＤ、ＳＥＭ测试分析，研究了掺铝量对膜的电学性能的影响，结果表明；掺杂量影响膜的载流子浓度、迁移率及结晶状况，当Ａｌ_２Ｏ_３与 ＺｎＯ重量比为 １．５％时，沉积的膜具有较低的电阻率．