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脉宽调制输出的集成真空度传感器

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摘要

本文提出一种优于模拟量输出的数字化传感器.由温度敏感级、加热级和施密特触发器与在加热级和温敏级间的衬底热通路一起构成一个闭环传感器系统.该系统工作在加热和冷却的振荡状态,产生方波输出,其脉宽用作为真空度的量度.该传感器由通用的CMOS技术制备,本文给出了不同真空度下的理论分析与实验结果.

著录项

来源
《东南大学学报：自然科学版》 |1992年第3期|89-93|共5页
作者
黄金彪; 童勤义; 唐国洪; 陈德英;
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作者单位

微电子中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
传感器; 集成电路; 数字化输出;

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